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    当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化

    特点：0．01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯。

2.运算放大器式电路

    如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d

    结论：Uo的相位与输入反相,大小和位移呈线性关系

3.二极管双T形交流电桥

4.环形二极管充放电法

5..脉冲宽度调制电路