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光栅测量的工作原理

光栅装置的结构是由标尺光栅和指示光栅组成。在标尺光栅和指示光栅上都有密度相同的许多刻线,称为光栅条纹。见图4-8。对于透射光栅:这些刻线不透光,光线由两刻线之间窄面透射。

当光线通过时,在指示光栅上会产生莫尔条纹,见图4-9,莫尔条纹是明暗相间的条纹。

莫尔条纹间距与刻线间距关系:W≈P/θ, 莫尔条纹具有放大效应, 若P= 0.01mm,θ=0.001, 则W= 10mm,相当于把两尺刻线距离放大1000倍。光电元件同指示光栅一起移动。当移动时,光电元件接收光线受莫尔条纹影响呈正弦规律变化,因此光电元件产生按正弦规律变化的电流(电压)。

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