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过程控制系统的作用最终是体现在调节阀的动作上，因此在判断控制系统故障时，经常是观察调节阀的动作是否正常。如果自动控制不正常时，可改用手动控制来操作调节阀，阀门不能正常的打开和关闭，也就可以确定是调节阀的故障了，这是一种最常用的检查方法。
常见的调节阀故障有阀门不会动作、阀门动作不灵敏迟钝、阀门动作不稳定或产生振荡、阀门泄漏、机械部件磨损或缺油卡死等，这些故障还是比较容易观察和判断的。
执行器由于有电气和机械部件，因此，有其一定的故障特征，了解这些特征有助于判断或处理故障。新安装使用的执行器常见故障有泄漏、油污使传动机构卡涩或动作失灵，或动作不平稳、速度难控制、定位不准确等。这时的主要工作是认真细致地进行调试，对出现的故障逐一排除。运行到中期的执行器，通过调试和转动磨合，其电气、机械零部件将处于最佳工作状态，其故障率是很低的，但是由于运行了一段时间，有的薄弱环节也会出现故障，如间隙加大导致漏油、原来沾附在管道上的污物、铁锈、杂质脱落会导致阀门出问题。运行后期，执行器的各类电气元件、机械零部件由于工作时间长了，元件老化及零部件的磨损，常会出现位置反馈接触不良，定位精度低、稳定性下降等故障。这时就需要进行检修和更换失效的零部件，即对其进行全面的检查和修理。
执行器故障检查及处理
1、气动调节阀不动作的检查及处理方法


2、气动调节阀动作不稳定的检查及处理方法


3、电动执行器的故障检查及处理
电动执行器在通电前必须检查电路连接是否正确；减速器要定期检查、清洗加油。
①通电后电动机不转动的检查方法：用万用表测量电机绕组端是否有电压，如有电压仍不转动，应进一步检查电机绕组是否断路。如果电机绕组端无电压，则应检査限位开关是否良好。
②阀位信号无输出或输出信号不正常的检查：用万用表检查差动变压器绕组是否有开路或短路故障；否则应对电源变压器中的谐振电容器进行检查，看其是否正常。最后再检查位置发送器电路板上的电流输出电路是否有故障，如三极管是否损坏，其他元件是否损坏，对症处理即可。