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1 ．加工方法的原理及超微量加工机理

2 ．加工设备及其基础元件

1 ）高精密和高刚性

2 ）高稳定性和高可靠性

3 ）高自动化程度

3 ．测量技术

4 ．加工环境条件

在超精密加工中，加工环境条件对加工质量的影响极大，其极其微小的变化都可能会使加工达不到预期目的。因此，超精密加工必须在超稳定的加工环境下进行。超稳定的加工环境条件，主要是打恒温，恒湿，防振和无尘等方面。

加工工艺系统的振动主要来源于机内振源和机外振源的干扰。